信息更新: 2013年12月19日

通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂

獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調(diào)光方式

使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）

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EE-SPY801 / 802 晶圓片托架落座傳感器

EE-SPY801 / 802 晶圓片托架落座傳感器
信息更新: 2013年12月19日 通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置 與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂 獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架 采用抗干擾光的變調(diào)光方式 使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉） 信息更新: 2013年12月19日