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產品介紹

可靠性：即使在高氣體負載下也可靠且穩定的工藝 - 有效的潤滑

堅固耐用：沒有污染的過程 - 油和空氣反吸保護

性能：長壽命無故障 - 驅動軸上的工業滾子軸承

放心：安心 - 經過多年的努力，測試和行業標準

E2M175/275系列兩級油封旋片式真空泵以其極高的真空度，快速的抽速，安靜的操作和處理水蒸氣的能力而聞名。這些直接驅動旋片泵本質上是緊湊和無振動的，它們的防指風扇和聯軸器外殼提供了出色的操作員保護。該泵適用于大多數工作，在泵的正常運行參數范圍內可安全處理不可燃氣體和蒸汽。

英國Edwards愛德華從1939年開始制造真空設備直到現在，產品是半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中不可缺少的部分，應用于日益多范圍化的工業過程，包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學；適用于科學儀器和許多研發應用。Edwards的技術專長和應用經驗造就了創新型解決方案，可通過長期合作和伙伴關系幫助優化制程。

詳細參數

最大排量

50Hz電氣供應：292 m³h^-1

60Hz電氣供應：350m³h^-1

電機旋轉速度

50Hz電氣供應：1440r/min^-1

50Hz電氣供應：1720r/min^-1

終極真空

無氣 - 鎮流器（部分壓力）：10^-4mbar

無氣 - 鎮流器（全壓力）：1×10^-3 mbar

帶氣 - 鎮流器（部分壓力）：5×10^-3 mbar

最大允許出口壓力：0.5bar

操作溫度：12℃…40℃

儲存溫度：-30℃…+70℃

泵表面溫度（20℃環境溫度）：50℃…70℃

最大濕度：90%RH

保護等級：IP55

重量：260kg

產品應用

• 2018-01-17EDWARDS泵E2M175 & E2M275應用