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NUMERIK JENA光柵尺LIK21 vac,LIK22 vac,LIK23 vac,LIK41 vac

發布日期：2022-04-28 點擊率：44

產品介紹

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。自帶2場EPIFLEX讀數模塊，也適用于惡劣的應用環境。

性能特點

 

  • 真空版LIK 21，外殼版本1

  • 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）

  • 光柵尺部件滿足真空度達10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求

  • 支持150 °C時12小時的加熱周期

  • 1 Vpp或RS 422輸出信號

  • 多達100倍的細分信號

  • 最小測量步距僅50 nm

  • 運動速度達10 m/s（1 Vpp）

詳細參數

LIK21 vac

LIK22 vac

LIK23 vac

LIK41 vac

產品應用

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