發(fā)布日期:2022-04-28 點擊率:77
Kit L系列直線光柵尺特別設計用于個性化的應用。該系列產(chǎn)品不僅擁有極小的尺寸,更提供配置能力。該系列產(chǎn)品幾乎不限制設計師的設計自由。
特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(2場掃描)
帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(2場掃描)
光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar(UHV)的氣壓要求
1 Vpp或RS 422輸出信號
多達100倍的細分信號
最小測量步距僅50 nm
運動速度達10 m/s(1 Vpp)