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產品規格型號

• 所用技術

• 薄膜電容, 帶陶瓷傳感器

• 顯示

• 數字

• 真空范圍

• 最多: 1,333 mbar (19.333530439 psi)

  最少: 0.1 mbar (0.001450377 psi)

產品介紹

CDG025D INFICON SKY CDG025D 電容隔膜計系列高精度溫度補償壓力計專為在惡劣的制造工具環境中提供穩定性能而設計。 先進的數字電子設備可提高儀表性能，并提供簡單的操作功能，例如一個按鈕零功能和設定點調整。 耐腐蝕陶瓷傳感器具有出色的零穩定性，壽命長達數百萬個壓力循環（包括大氣爆發）。 獨特的傳感器屏蔽（正在申請專利）可保護儀表免受工藝污染。 堅固的機械設計和數字電子設備可提高 EMC 兼容性、長期穩定性和溫度補償。 CDG025D 為上電后的快速穩定性和從大氣壓暴露中快速恢復設定了新標準。 優 點從 100 mTorr 的全尺寸范圍... 1000 Torr 上電后快速穩定性從大氣壓力中快速恢復耐腐蝕陶瓷傳感器優秀的長期信號穩定性溫度補償傳感器免受污染零功能 寬范圍電源 典型應用用 于蝕刻, CVD, PVD, ALD 的半導體制造設備 數據存儲和顯示制造設備 工業真空設備 一般高精度壓力測量

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此為機器翻譯文本。  (查看英文原文)