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產品規格型號

• 所用技術

• 皮拉尼, 薄膜電容

• 顯示

• 數字

• 其他特性

• RS485

• 真空范圍

• 最多: 1,333 mbar (19.333530439 psi)

  最少: 3 mbar (0.043511321 psi)

產品介紹

使用VersaTorr BVT200/225系列皮拉尼傳感器建立新標準。這是一個多合一的寬范圍測量解決方案，適用于廣泛的真空應用選擇。它有別于任何其他真空計，通過利用熱損失原理，提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的整體經濟高效的氣體獨立測量，并結合低至 1E-6 mbar 的測量。 在氣體成分或類型可能改變的真空應用中，傳統的依賴氣體的皮拉尼真空計將導致測量與實際壓力的偏差。Tri- Sensor傳感器使用精密的電容式隔膜表（CDG）傳感器，消除了對氣體的依賴性，在氣體特性發生變化時也能提供準確的測量。 集成的熱損失MEMS Pirani傳感器將測量范圍擴大到1E-6mbar，并提供了一種新穎的電容式壓力計自動調零功能，消除了傳統電容式隔膜表手動調零的普遍需求。 特點和優點    超寬的測量范圍，可達九十度    電容式膜片在低真空范圍內增加了0.5%的精度    在5E-3至1333mbar范圍內可獨立測量60年的氣體    電容式壓力計的自動調零    用于診斷的真空溫度傳感器 應用    負載鎖    轉運室    前沿線    真空粗加工線    薄膜加工

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此為機器翻譯文本。  (查看英文原文)