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發(fā)布日期:2022-04-18 點擊率:66
Cellon Peripheral Circuit(以下簡稱Cell on Peri)構造由美光(Micron)與英特爾(Intel)陣營開發(fā),采用將3D NAND Flash晶胞(Cell)數(shù)組堆棧在外圍電路CMOS邏輯IC上的方式,以縮減采3D NAND Flash解決方案的芯片面積。DIGITIMES Research觀察,三星電子(Samsung Electronics)已提出類似此一構造的COP(Cell Over Peri)方案,將有利整合組件廠(Integrated Device Manufacturer;IDM)三星、東芝(Toshiba)提升其3D NAND Flash競爭力。
然而,Cell on Peri構造將原先在不同制程制作的3D NAND Flash與邏輯電路結(jié)合于單一制程,雖有其優(yōu)點,但尚存諸多課題,包括相關產(chǎn)線與設備需延伸、擴大,將導致業(yè)者的資本支出增加,且3D NAND Flash經(jīng)高溫制程后,恐因高溫而破壞下方CMOS電路,將影響良率。
由于三星同時生產(chǎn)3D NAND Flash與邏輯電路,如Cell on Peri構造能克服良率與成本等問題,可望成為其爭取蘋果(Apple)應用處理器(Application Processor;AP)訂單的優(yōu)勢,而東芝半導體事業(yè)涵蓋3D NAND Flash與系統(tǒng)LSI,美光與英特爾陣營亦可結(jié)合雙方3D NAND Flash與CPU,運用Cell on Peri構造,有助其提升3D NAND Flash競爭力。
另外,3D NAND Flash若引進Cell on Peri構造,由于在形成外圍區(qū)域后,需經(jīng)過化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)制程使之平坦化,才能于其上形成3D NAND Flash晶胞數(shù)組,將使得CMP制程的重要性提高。
Cell on Peri構造有利采3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積
Cellon Peri系由美光與英特爾陣營所開發(fā),其與Peri under Cell是相同概念,意味先形成外圍(Peripheral)區(qū)域后,再堆棧晶胞,也就是運用將3D NAND Flash晶胞數(shù)組堆棧在外圍電路CMOS邏輯IC上的方式,縮減采3D NAND Flash解決方案的芯片面積。
具體而言,Cell on Peri構造將字符線譯碼電路與感測放大器(Sense Amplifier)電路置于下層,且將3D NAND Flash晶胞數(shù)組置于上層。
為此,Cell on Peri構造需增加約4層的金屬配線,其中2層金屬配線位在3D NAND Flash晶胞數(shù)組下方,用來鏈接上方3D NAND Flash晶胞數(shù)組及下方CMOS電路。
至于另2層金屬配線,則在3D NAND Flash晶胞數(shù)組上方,分別為位線與電源總線(Bus)。
美光與英特爾陣營于3D NAND Flash所開發(fā)的Cell on Peri構造
數(shù)據(jù)源:美光、英特爾、南韓NH投資證券
換個方式比喻,Cell on Peri構造如同將商店街設于住宅下方的住商混合大樓,有利于節(jié)省土地面積,反觀既有構造則如同住宅與商業(yè)用途各自分開的兩棟大樓,需較大土地面積。
Cell on Peri構造有利采3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積示意圖
數(shù)據(jù)源:南韓NH投資證券
由于外圍區(qū)域占整體3D NAND Flash約30%面積,將3D NAND Flash晶胞數(shù)組堆棧在外圍電路之上,有助于采用3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積
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