渦輪分子泵是高或超高真空泵，主要由轉(zhuǎn)子和定子兩個部分組成。
一個旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子盤和一個靜止的定子盤組成了一個泵級，泵級產(chǎn)生一個特定的壓縮比。
通過連續(xù)開啟增加壓縮效果的多個泵級，可以獲得高達(dá)1013的壓縮比。
例如，現(xiàn)代真空泵在后側(cè)使用霍爾維克級(Holweck)，減少了渦輪級的數(shù)量而不影響壓縮效果。
與此同時，一些生產(chǎn)商可能將允許的前級管道壓力增加至30hPa以上，極大減小了前級泵的尺寸，并可首次使用隔膜泵。
無額外壓縮級的渦輪泵可用于易凝結(jié)、升華以及形成顆粒的過程，因為狹窄的縫隙可導(dǎo)致沉積、機械損傷或堵塞。
1、前級真空壓力
對于帶有額外壓縮級的渦輪分子泵，其前真空壓力可以上升至30hPa以上。
對于帶有純渦輪級的分子泵，*大前真空壓力為2-3hPa；
但是這取決于抽送氣體的種類，如氮氣為2hPa，氫氣為0.5hPa。
由于泵的過熱，超過生產(chǎn)商指定的*大壓力會導(dǎo)致軸承受損，情況嚴(yán)重的甚至?xí)?dǎo)致徹底失效。
氣體摩擦上升過高，且額外產(chǎn)生的壓縮熱無法消散。
對于軸承和轉(zhuǎn)子溫度未受監(jiān)測的泵，這尤其重要，且在很多情況下，是不可避免的。
通過使用*終壓力為2-5hPa的隔膜泵，操作員就可這帶動設(shè)備的運行。
除了隔膜泵，干式泵沒有任何出口閥門。
如果前級泵發(fā)生故障，將從前級側(cè)對處理室進(jìn)行排氣；
而且，如果由此導(dǎo)致渦輪分子泵速度的下降并沒有因前級壓力的快速上升而引發(fā)自動排氣過程。
由于外殼中所謂的直升飛機效應(yīng)，大型處理室的突然排氣會導(dǎo)致渦輪分子泵轉(zhuǎn)子受損。
為保護渦輪分子泵不受損傷，生產(chǎn)商還提供了一個安全閥；
在前級泵或前級真空失效的情況下，安全閥就會立即關(guān)閉處理室的排氣裝置。
關(guān)閉時間必須相對較短。
2、標(biāo)注排氣管道的尺寸
建議至少按照泵的標(biāo)稱尺寸安裝排氣管道和閥門，因為不佳流導(dǎo)值會導(dǎo)致抽速顯著下降。
以下是稍加夸大的，以說明在直徑為25mm、長度為100mm的進(jìn)氣管內(nèi)電導(dǎo)值損失所造成的影響。
渦輪分子泵有效抽速與標(biāo)稱抽速：
60l/s：10l/s
5000l/s：14l/s
由此可以看出，80倍大的渦輪分子泵僅能產(chǎn)生40%以上的抽速。
3、高真空和前真空連接
如果分子泵的高真空法蘭連接至接受器，則有必要讓前級管道更為靈活。
如果前級管道為固定連接，則泵殼受熱后無法膨脹，導(dǎo)致不當(dāng)?shù)牟牧蠎?yīng)力。
在該固定連接中，轉(zhuǎn)子無法自由移動，且遺留下來的細(xì)微不平衡隨著時間的推移會造成軸承故障，并會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子受損。
保持渦輪分子泵平衡性可以確保低振動運轉(zhuǎn)和*佳的軸承耐用性。
在正常啟動過程中，根據(jù)轉(zhuǎn)子動力學(xué)，他們通過某種特定的共振頻率。
如果這些共振頻率夠刺激真空室、框架或整個系統(tǒng)的固有頻率；
他們就可以促進(jìn)頻率振幅的顯著提升;在這種頻率下，泵開始劇烈振動并發(fā)出非常大的聲音。
頻繁在這些共振頻率區(qū)域運行會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子受損，且可能會導(dǎo)致設(shè)備或內(nèi)置振動敏感元件損壞。
即便是帶有磁軸承的渦輪分子泵也不例外。
因此，*好確定系統(tǒng)的固有頻率，并就相關(guān)數(shù)值向制造商進(jìn)行咨詢。
通過加固、增加額外重量或變換設(shè)計方案等可以避免振動的發(fā)生。
4、安全連接高真空法蘭/真空室
渦輪分子泵，尤其是抽速在1000l/s以上、帶有磁軸承和鐘形轉(zhuǎn)子的較大渦輪分子泵；
在額定轉(zhuǎn)速下具有較高的扭矩，在轉(zhuǎn)子碰撞時，速度會以毫秒為單位降級。
如果真空室布局不當(dāng)且渦輪分子泵直接安裝在其上時，則會發(fā)生真空室變形的情況；
情況*嚴(yán)重時還會造成渦輪分子泵扭曲，甚至?xí)c真空室法蘭脫離。
近年來，主要受到半導(dǎo)體工業(yè)的驅(qū)動，泵制造商已經(jīng)通過碰撞實驗和控制分析對泵殼和入口法蘭上的力矩和受力進(jìn)行了確定和測試。
實驗發(fā)現(xiàn)，連接到真空室的法蘭原則上應(yīng)該按ISO-F執(zhí)行。
通過長圓孔及使用ISO-CF與固定螺釘，防止帶ISO-F法蘭的泵發(fā)生轉(zhuǎn)動。
泵生產(chǎn)商會提供所謂的安裝套件，其中包含所需材料等級足夠數(shù)量的夾子和固定螺釘以及合適的定心環(huán)。
只有這樣才能卻能確保在碰撞時連接保持完好、密封。必須嚴(yán)格遵守操作手冊上的生產(chǎn)商說明。
