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    通過低溫介質將抽氣面溫度降低到20K以下，抽氣面就可以冷凝沸點溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。

    這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。

    是利用低溫介質降低表面溫度后將氣體冷凝、吸附或是冷凝+吸附；

    將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態的裝置。

    作為完整的抽氣系統，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機。

    現在得到廣泛應用的都是制冷機式低溫泵，其核心是低溫制冷機。

    工作基本流程為：

    氦氣首先被壓縮到高溫高壓狀態；再通過熱交換器被冷卻為常溫氦氣；

    經純化后的高純氦氣*后經汽缸完成絕熱膨脹，變成低溫氦氣。

    如此不斷循環，氦氣被不斷降溫，成為制冷介質—低溫氦氣。

    選擇低溫泵的優勢有：

    ①潔凈，純無油，抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環境；

    ②與口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；

    ③對被抽氣體無選擇，雜質顆粒而不影響系統工作；

    ④可以任意角度安裝，沒有運動部件，不需要前級泵，運行和維護成本低；

    ⑤暴露大氣對系統影響小，壓縮機斷水后可以自保護，所以可以實現無人值守。

    真空系統的設計

    真空爐選用低溫泵系統，*大的問題就是解決熱負載。

    真空爐中的熱負載主要來自于三方面：

    ①來自爐體側的熱輻射；

    ②粘滯流狀態下，氣體分子攜帶走熱量；

    ③來自泵口管道的熱傳導和輻射熱量。