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    一、能譜儀與波譜儀簡要：
    能譜儀英文縮寫是“EDS”，是利用電子與試樣相互作用產(chǎn)生不同能量的特征X射線進(jìn)行元素定性分析。能譜儀是將特征X射線作為不同能量的光子進(jìn)行分析。
    波譜儀英文縮寫是“WDS”，是一種測定X射線的強度與波長函數(shù)關(guān)系的裝置，波譜儀也是SEM（SEM譜儀）的一部分，波譜儀可以與SEM組合（SEM/WDS)，利用SEM的二次電子探 測器及背散射電子探測器，檢測電子與試樣相互作用產(chǎn)生的二次電子以及對背散射電子信息進(jìn)行形貌觀察。用SEM的WDS附件，測量入射電子與試樣相互作用產(chǎn)生的特征X射線波長，進(jìn)行定性分析，再根 據(jù)特征X射線強度進(jìn)行定量分析。
    二、元素分析不同特點說明：
    (1)能譜儀與波譜儀相比，在元素分析時有許多不同的特點（下面的為了方便閱讀將：能譜儀用英文“EDS”替代，波譜儀用英文“WDS”替代），
    EDS可快速、自動地進(jìn)行多種方法分析，例如定性、定量成分 分析，線分析、面分析及粒度分析等，并可同時測量試樣中所有元素，自 動進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和數(shù)據(jù)分析，對試樣定性、定量分析只需幾分鐘即可完成。掃描電鏡與波譜儀組合(SEM—WDS)時，波譜儀一次只能測量一 個元素。電子探針儀（EPMA)的WDS分析時，每次分析的元素數(shù)由譜儀道數(shù)決定，一般安裝3道或者4道譜儀，多也只能安裝5道譜 儀，一次測量的元素數(shù)多也只能測量5個。所以，EDS分析速度遠(yuǎn) 比WDS快。
    (2)能譜儀探頭緊靠試樣，使X射線收集效率提高，EDS收集效率 約為WDS收集效率的100倍。高收集效率有利于對斷口、粉體等表 面光潔度不好的試樣進(jìn)行快速元素定性、定量分析。對不平試樣進(jìn)行 快速、無標(biāo)樣定性、定量分析是EDS分析的一個很重要特點。WDS對 不平試樣一般無法進(jìn)行準(zhǔn)確定量分析，WDS必須用標(biāo)樣進(jìn)行定量 分析。
    (3)EDS對試樣與探測器的幾何位置要求低于WDS，EDS可以在 低倍率下獲得X射線面分布像，WDS通常要大于1000倍進(jìn)行X射線 面分布測量。EDS對工作距離與X射線強度的敏感性遠(yuǎn)低于WDS， 這有利于不平試樣的分析。
    (4)EDS分析束流一般比較小，對電子束照射后易損傷的試樣，例 如生物試樣、快離子導(dǎo)體試樣等損傷小。對一般試樣分析不損壞試樣， 試樣分析后，可以完好保存或繼續(xù)進(jìn)行其他性能的分析測試。即使硅漂移(SDD)能譜儀在大束流分析時，除不穩(wěn)定試樣外，一般也不會對試 樣造成明顯損傷和破壞。
    (5)EDS的缺點是能量分辨率及探測限不如WDS/VB小，譜峰易重疊，定量分析結(jié)果一般不如波譜儀，需要液氮或者其他冷卻系統(tǒng)。
    由于EDS的上述特點，掃描電鏡與能譜儀組合（SEM/EDS)的應(yīng)用范圍越來越廣，特別是礦物及包體成分分析、鋼鐵中夾雜物、斷口分 析、失效分析等，EDS起了重要作用。SEM/EDS組合的圖像分辨率明 顯優(yōu)于EPMA。
    三、性能比較圖例

    提示：關(guān)于EDS的分析特點就到這里，想要了解其更詳細(xì)的可以繼續(xù)參考資料。

標(biāo)簽:                                    能譜儀                                                                    波譜儀