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　　最近，多功能集成化傳感器研究受到國內外的廣泛關注，已經有了化學分析，生物保護等方面的集成傳感器，隨MEMS技術和比技術的不斷發展，實現傳感器的集成化、多功能化成為可能。

　　隨著傳感器及微電子技術的發展，人們可以在同一材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結構形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個敏感元器件的工作氛圍相同，容易實現補償和校正，這是多功能傳感器發展的一個方向。

　　幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數，各敏感元器件是獨立的，用同一個敏感元器件的不同效應，得到不同的信息，如將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導率或介電常數物質的作用下，表現出不同的電容和電感。同一個敏感元件在不同激勵下表現出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵電樂、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時可相串于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。多功能集成化傳感器將隨著工業等自動化行業得到進一步發展。