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科普知識
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往復泵

磁力泵在濕法腐蝕清洗設備中的應用

發布日期:2022-04-27 點擊率:54

磁力泵主要由泵頭、磁力驅動裝置和其它零部件共三部分組成。泵頭部分主要由葉輪、泵體、軸承、軸套、泵蓋、泵軸等零件組成;磁力驅動裝置部分主要由內磁轉子、外磁轉子、隔離套等部件組成;其它零部件主要包括托架、底座、電機等。
  磁力泵的工作原理:
  當電動機帶動外磁轉子旋轉時,磁場能穿透空氣隙和非磁性物質,帶動與葉輪相連的內磁轉子作同步旋轉,實現動力的無接觸傳遞,將動密封轉化為靜密封,達到輸送液體的目的。
  磁力泵在濕法腐蝕清洗設備中主要有以下應用:
  (1)藥液的循環過濾:由磁力泵、循環溢流槽、過濾器、管件等組成藥液的循環過濾系統。實現藥液的循環過濾,保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。由于磁力泵長時間運行會引起藥液一定溫升,因此不適用于溫控精度較高的工藝槽中。常應用于太陽能電池片酸洗、制絨、清洗等設備中。
  (2)熱水注入與噴淋:經過化學液處理后的晶片,有時需要熱DI水噴淋沖洗。一般先將DI水注入至預熱槽,通過加熱器加熱到所需供液溫度后,再通過磁力泵加壓輸送至噴淋裝置,實現對晶片的清洗。由于磁力泵軸承滑動摩擦會產生顆粒,不適用于顆粒要求高的清洗。

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