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對真空設備殼體材料的主要要求如下：

1 一定的機械強度

2 氣密性好，不應是多孔結構，不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其他缺陷

3 較低的出氣率和滲透率

4 在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低

5 化學穩定性好，不易氧化和腐蝕，不與系統中的工作液體發生化學反應

6 溫度穩定性好，在一定溫度范圍內能保持真空性能和機械強度

7 加工容易，有較好的焊接性能

真空設備常用殼體材料有兩大類：金屬和玻璃。

金屬的優點是：機械強度好，容易實現高精度的加工。

玻璃的優點是：透明，便于觀察設備內部情況，電絕緣，可對內部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣，能用高頻火花槍檢漏，加工方便等。

玻璃的缺點是質脆易碎。

 （慧樸科技，huiputech）