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    目前市面上主流的真空計有四種：皮拉尼真空計、電容薄膜規、熱電離規、冷電離規（潘寧規）。下面我們分別介紹這四種真空計的原理及特點。

    皮拉尼真空計：它的原理是加熱電阻絲，使電阻絲升溫至需要的工作溫度。由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時會帶走能量，電阻絲的溫度會發生變化。熱電阻絲的能量損失與其周圍的氣體濃度以及氣體成份成比例關系。由此又衍生出兩種類型的皮拉尼規，第一種是溫度穩定，測量電壓變化；第二種是電壓穩定，測量溫度變化。對電阻絲在不影響精度與速度的情況下加以最大保護，能夠大大延長電阻絲的使用壽命。

    皮拉尼真空計測量范圍一般為5x10^-4~1000mbar。一般用于各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業等，也用于各種中低真空測量。

    電容薄膜規：它的原理是利用真空壓力，壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系，通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量來測量真空度。這種真空計能在嚴酷和腐蝕性環境中，提供穩定可靠的高精度壓強測量，它具有快速的預熱和恢復時間，卓越的長期穩定性、再現性和重復性，對環境條件變化的敏感度降低。

    電容薄膜規一般用在要求比較高的、精確而快速的測量，如刻蝕、半導體等。

    熱電離規：它的原理是利用高溫燈絲發射高能量的電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子，離子流的大小與氣體壓力成比例關系。

    熱電離規一般與皮拉尼規或薄膜規復合在一起，具有測量范圍寬，普遍應用于從低到超高真空的測量，在工業、半導體、科研單位應用廣泛。

    冷電離規（潘寧規）：它的原理是通過氣體放電方式產生電子，再通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離，離子流的大小與氣體壓力成比例關系。

    冷電離規的測量范圍為5x10^-9~1x10^-2mbar，全金屬密封，無燈絲，易清洗，應用于普通的高真空測量。

    （慧樸科技，huiputech）