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    位于泵進氣口處未能烘烤的部位是影響獲得超高真空的重要因素，系統(tǒng)不能烘烤的部位面積與采用的真空泵類型有關(guān)，離子泵(卸掉磁鐵)和分子篩泵可以整體烘烤，渦輪分子泵和制冷機低溫泵能夠局部烘烤100℃，擴散泵則完全不能烘烤。

    烘烤曲線表明開始加熱后系統(tǒng)壓力隨加熱溫度上升急劇增加，到達最高烘烤溫度時壓力也升到最大值，在隨后維持烘烤溫度不變的期間，壓力隨抽氣時間緩慢下降，停止加熱后壓力則迅速下降，其拐點處出現(xiàn)在室溫下，此后是常溫下系統(tǒng)壓力隨抽氣時間下降的曲線。

    超高真空系統(tǒng)進行烘烤除氣時，烘烤溫度的均勻性比烘烤溫度高低更為重要，復(fù)雜的金屬系統(tǒng)要做到各部分的烘烤溫度均勻并不是一件很容易的事。各部分材質(zhì)的質(zhì)量大小不同，各種材料的熱容、熱導(dǎo)率的方向性的差異以及距加熱體的遠近等，都會影響加熱的均勻度。

    所以，要獲得較均勻的烘烤溫度，采用烘烤爐將真空容器整個罩住，比采用纏繞加熱絲的方法好，特別是大質(zhì)量的金屬法蘭，難以靠熱傳導(dǎo)同步加熱，只有靠熱輻射緩慢升溫，而輻射熱是加熱體溫度4次方函數(shù)關(guān)系，所以盡量采用較高的加熱溫度和充分長的加熱時間是十分必要的。

    盡管如此，要達到系統(tǒng)均勻升溫，對大型超高真空系統(tǒng)的厚法蘭還應(yīng)當(dāng)采用輔助加熱片進行加熱，輔助加熱片的功率可根據(jù)材料的熱容量進行計算，要獲得最佳效果，應(yīng)通過實驗確定。

(慧樸科技，huiputech)