發布日期：2022-11-05 點擊率：110
運動傳導結構是用來向真空室中傳遞各種運動，以實現真空室中機構的運動，滿足所進行的工藝過程的需要。要求這種運動傳導結構既能向真空室中傳遞運動，又要保證真空密封。
運動傳導結構傳遞的運動形式一般有以下幾種：(1)傳動軸的轉動；(2)傳動軸的往復直線運動；(3)傳動軸的擺動。
運動傳導結構按照動密封方式分類有：(1)真空橡膠密封可動傳導；(2)金屬波紋管密封可動傳導；(3)液態金屬密封可動傳導；(4)間隙密封傳導；(5)磁力傳動傳導；(6)磁流體密封可動傳導；(7)橡膠隔膜密封可動傳導。
在選擇運動傳導密封形式時，應注意下列事項：
(1)從傳動密封處漏入真空室中的氣體量對工作壓力的影響。此氣體量值包括密封處漏氣量、元件表面放氣、高溫下薄壁零件(波紋管)的滲漏；
(2)在真空室工作溫度范圍內，傳動軸即密封元件能否正常工作；
(3)傳遞運動形式(直線、旋轉、擺動)及傳動精度；
(4)真空中從動部件的最大速度、位移以及密封軸的轉速；
(5)使用方便、易更換易損零件，工藝性好，成本低。
（慧樸科技，huiputech）
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