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常見的真空斷路器故障大體有以下幾種情況：
斷路器的拒合、拒分
    處理斷路器拒絕合閘，有四個方面的原因：a線路上有故障；b操作不當；c操作、合閘電源問題或電氣二次回路故障；d斷路器本體傳動機構和操動機構的機械故障。處理斷路器拒絕合閘故障，必須善于區分故障范圍，處理步驟為：
      1.先判定是否斷路器合于預伏故障線路上引起跳閘，可從合閘操作時有無短路電流引起的表計指示沖擊擺動及有無照明燈突然變暗，電壓表指示突然下降來判斷。如判明線路有故障，隔離故障區域后再投斷路器。
      2.判明是否屬于操作不當，應檢查有無裝合閘保險，控制開關是否復位過快或未到位以及轉換開關是否位置正確等。
      3.檢查操作合閘電源電壓是否過高或過低，檢查操作合閘保險是否熔斷或接觸不良，檢查控制開關及輔助觸頭是否接觸不良，回路是否斷線或接線錯誤。
      4.檢查操動機構是否卡死，輔助觸頭和機構調整是否不當。
    一般是操作機構連接部件的間隙不合格造成的，需要檢查并更換新的高硬度的合格零件。
斷路器誤動作
    斷路器誤跳閘的主要原因為：人員誤操作、操動機構自行脫扣、電氣二次回路問題。
      1.在斷路器誤跳閘時，首先應檢查是否屬于人員誤操作。人員誤操作有兩種情況：一是操作失誤；二是繼電保護回路上因防護措施不當而造成誤動。
      2.如果不是誤操作，則應檢查操動機構是否有故障。比如斷路器的跳閘脫扣機構是否有故障，或是否由于外界振動而造成斷路器自動跳閘。
      3.如經檢查操動機構正常，則可能是操作回路中發生兩點接地而造成斷路器自動跳閘，或操作回路短路，或操作回路中某些元件如防跳躍繼電器等性能不良而造成斷路器誤跳閘。
    如果經檢查操作回路的絕緣狀態良好，則應對繼電保護裝置進行檢查，檢查保護裝置是否誤動作而使斷路器自動跳閘。為了保證對用戶的供電，在線路斷路器自動跳閘后，可用手動或自
動重合閘裝置進行合閘。
其他故障
    斷路器機構儲能后，儲能電機不停，此時應調整行程開關安裝位置，使得搖臂在最高位置時能將行程開關常閉接點打開；斷路器直流電阻增大。此時需要調整滅弧室觸頭開距和超行程；斷路器合閘彈跳時間增大。可以適當增大觸頭彈簧的初壓力或更換觸頭彈簧；若拐臂、軸銷間隙超過0.3mm，可更換拐臂、軸銷；調整傳動機構，利用機構在合閘位置超過主動臂死點時傳動比很少的特點；將機構向靠近死點方向調整，可減小觸頭合閘彈跳；斷路器中間箱CT表面對支架放電；斷路器滅弧室不能斷開。通常是由于滅弧室真空度下降，滅弧室內絕緣下降，耐壓不合格所造成的。