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這里所謂的“溫濕度”，主要指的是濕度，我們一般也稱為相對濕度。該濕度值是一個相對量，需要和溫度一起表示出來才有意義。所以經常被稱為“溫濕度”。

目前市場上最主流的溫濕度（相對濕度）測量技術是電容法。

電容式濕度儀的工作原理：該濕度傳感器的工作原理和平板電容類似，是在基層上先覆蓋底層電極，上面鍍一層親水性的高分子聚合物，然后覆蓋多孔的表層電極。水分子可以自由的通過表層電極的空隙進入或者離開聚合物，改變其介電常數從而改變傳感器的電容值。

高分子聚合物型的薄膜電容結構，具有超快反應時間，小遲滯和高穩定的優點，同時對于常規腐蝕和污染都具備較強的抗性。

除常規性能外，還有兩個因素可以用來判定電容式濕度儀的質量高低。

一是隱性的因素：響應曲線，即傳感器的電容值和濕度（相對濕度）值的關系曲線。優異的關系曲線需具備兩個特性。第一，整個測量范圍內具有非常好的線性；第二，在100%的濕度值變化中，相對應的電容變化量。簡單來說，該變化越大越好。好的傳感器的變化值起碼要在80pF以上。

二是相對顯性的因素：表面覆膜保護，雖然直接難以觀測到，但可以簡單的用實驗來證實。沒有覆膜保護的傳感器不能抗冷凝飽和。一旦有液態水出現，就會損壞傳感器。有覆膜保護的傳感器不但可以抗凝露，還可以額外提供更好的抗污染性能。

如密析爾儀表（Michell）的相對濕度儀表，如果傳感表面上沾有微塵或者污染，都可以浸入潔凈水中，輕輕攪動進行清洗。這就是特殊保護層的卓越性能的體現。

請注意：即使電容式濕度儀如何具備高性能的抗污染性，實際應用中依然強烈推薦在傳感探頭外采用某種形式的機械防護，如開槽網篩、燒結或聚合防護帽等。